注1 ：換算成標準狀態(tài)（20℃ 1個大氣壓（101kPa）、相對濕度65％Rh）下的體積流量

注2 ： 請使用不含氯、硫磺、氧等腐蝕成分的干燥氣體，不含灰塵及油霧的潔凈氣體。使用壓縮空氣時，請使用JIS B 8392-1:2012 等級 1.1.1～1.6.2的清潔空氣。來自空壓機的壓縮空氣含有冷凝水（水、氧化油、異物等）。為了保持本產(chǎn)品的功能，請在本產(chǎn)品的一次側(cè)（上游）安裝過濾器、空氣干燥器（低壓力露點10℃以下）及精密過濾器（大油份濃度0.1mg/m3）后使用。（請參閱第72頁的推薦回路。）氧氣用為型。為了防止火災，在已經(jīng)通入氧氣以外的流體時，請勿再次通入氧氣。

注3 ：精度以本公司的標準流量計為基準，并不表示精度。精度±3%F.S.不包括重復精度、溫度特性、壓力特性。請根據(jù)使用環(huán)境、使用條件另行考慮。

注4 ：短期的重復精度。不含經(jīng)時變化。（詳情請確認產(chǎn)品規(guī)格書。）

注5 ：實際響應時間根據(jù)配管條件的變化而改變。

注6 ： 模擬輸出電壓輸出型的輸出阻抗約為1kΩ。連接負荷的阻抗較低時，輸出值的誤差會變大。請在對連接負荷的阻抗下的誤差進行確認的基礎上使用。

注7 ：電壓輸出型與電流輸出型的電源電壓規(guī)格不同，敬請注意。

注8 ：連接DC24V、未連接負荷時的電流。消耗電流因負荷的連接狀態(tài)而異，敬請注意。

注9 ：本產(chǎn)品的保護回路僅對特定的誤連接、負荷的短路有效，并不確保能夠應對各種誤連接。

注10 ： 本產(chǎn)品對氣流引起的熱分布變化進行測量?？v向安裝時，可能因?qū)α鞯挠绊懚鴮е聼岱植甲兓⒘泓c偏移。注11 ：配管條件可能會影響精度。為提高測量精度，請設置10倍于配管內(nèi)徑的直管部。 500L/min、1000L/min型號請使用內(nèi)徑9mm以上的配管。如為9mm以下，精度可能會變差。

詳細資料請聯(lián)系我司